如何判斷真空閘閥氣密性是否符合要求？

閘閥在真空系統(tǒng)中的應(yīng)用，首先要保證氣密性達到要求。通常真空閘閥漏氣越少，氣密性越好。

如何判斷真空閘閥的氣密性好壞呢？主要看其漏氣速率，所謂漏氣速率是指在單位時間內(nèi)，所有通過不同渠道漏入真空閥的氣體量，當真空閥門的漏量小于規(guī)定的允許漏量時，氣密性達到要求。真空閘閥并不能保證完全不漏氣，一般都有可允許的漏氣率范圍，在選擇閘閥前，需要考慮所應(yīng)用環(huán)境、型號等是否符合要求。

高真空閘閥

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