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真空閘閥
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前述兩種解決方案均采用CF法蘭，可應(yīng)用于超高真空系統(tǒng)中。然而在半導(dǎo)體制造及相關(guān)設(shè)備領(lǐng)域，高真空環(huán)境已經(jīng)能夠滿足使用需求。
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