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不銹鋼材料因具有優(yōu)異的耐腐蝕性、高機械強度和良好的焊接性能等特點，使其腔體在半導體制造、實驗室研究、航天科技以及各類精密加工和分析儀器等領域中得到廣泛應用。

本文介紹采用鈦合金制造CF法蘭、鋁合金制造法蘭頸部的方案。鈦合金法蘭滿足硬度要求的同時，鋁合金頸部便于與鋁合金腔體進行焊接。

本文介紹的另一種解決方案是采用鋁合金與不銹鋼的復合合金板制造法蘭。

前述兩種解決方案均采用CF法蘭，可應用于超高真空系統(tǒng)中。然而在半導體制造及相關設備領域，高真空環(huán)境已經(jīng)能夠滿足使用需求。